1回の清掃で床面堆積粒子の約7割を除去し、モップと同等レベルの清掃性能を確認。清掃を自動化することで、作業者による清掃ムラや粒子の持ち込み・再飛散を抑え、クリーンルームの清浄度維持に貢献します。
表面清浄度パーティクルモニタ PartSens による床面堆積粒子の実測画像。C30CRでの清掃により、粒子は約75%減少しました。